DRZ - Zverejnená rigorózna práca

Vplyv nerovnovážnej plazmy na povrch kryštalického kremíka

Autor
Medvecká, Veronika
Oponent
Zahoran, Miroslav
Škola
Univerzita Komenského v Bratislave FMFI FMFI.KEF
Rok odovzdania
2013
Počet strán
71s.
Trvalý odkaz - CRZP
https://opac.crzp.sk/?fn=detailBiblioForm&sid=C9465A2E9A03019849D261292DEA
Primárny jazyk
slovenčina

Typ práce
Rigorózna práca

Študijný odbor
1160 | *fyzika

Dátum zaslania práce do CRZP
21.09.2013

Dátum vytvorenia protokolu
21.09.2013

Dátum doručenia informácií o licenčnej zmluve
28.12.2013

Práca je zverejniteľná od
05.12.2016

Elektronická verzia
 Prehliadať
Predkladaná práca sa venuje možnosti využitia Difúzneho koplanárneho povrchového bariérového výboja (DCSBD) na aktiváciu kryštalického kremíka za účelom jeho spájania a jeho oxidácie pomocou tohto typu výboja. Experimentálna práca bola zameraná ne štúdium vlastností povrchu dvoch typov kryštalického kremíka s rôznou kryštalickou orientáciou - N (111) and P (100). Vlastnosti, ktoré v najväčšej miere ovplyvňujú proces spájania hydrofilného povrchu kremíka, sú zmeny povrchovej energie a mikrodrsnosť, ktoré boli sledované s využitím merania priebehov kontaktných uhlov a morfológie pomocou Atómovej silovej mikroskopie (AFM). Bol porovnaný vplyv nízkotlakej plazmy generovanej pomocou RF výboja určeného na leptacie účely a plazmy generovanej pri atmosférickom tlaku pomocou DCSBD výboja z hľadiska vlastností povrchu a výkonových parametrov, ktoré boli určené z elektrických meraní. Ďalej boli optimalizované podmienky pre aktiváciu pomocou DCSBD výboja na povrchu kremíka a podmienky pre spájanie pred, počas a po opracovaní. Pri štúdiu možnosti oxidácie povrchu kremíka pomocou DCSBD boli analyzované chemické väzby na povrchu pomocou Fourierovskej infračervenej spektroskopie (FTIR), hrúbka vrstvy optickou elispometriou, štruktúra vrstvy na zlome Skenovacím elektrónovým mikroskopom (SEM) a chemické zloženie pomocou energo-disperznej röntgenovej spektroskopie (EDX).

Verzia systému: 6.2.61.5 z 31.03.2023 (od SVOP)