CRZP - detail kniha

DRZ - Zverejnená rigorózna práca

Vplyv nerovnovážnej plazmy na povrch kryštalického kremíka

Autor: Medvecká, Veronika
Oponent: Zahoran, Miroslav
Škola: Univerzita Komenského v Bratislave FMFI FMFI.KEF
Rok odovzdania: 2013
Trvalý odkaz - CRZP: https://opac.crzp.sk/?fn=detailBiblioForm&sid=C9465A2E9A03019849D261292DEA

Primárny jazyk: slovenčina

Typ práce: Rigorózna práca

Študijný odbor: 1160 | *fyzika

Dátum zaslania práce do CRZP: 21.09.2013

Dátum vytvorenia protokolu: 21.09.2013

Dátum doručenia informácií o licenčnej zmluve: 28.12.2013

Práca je zverejniteľná od: 05.12.2016

Licencia
: Všetky výsledky práce zatiľ neboli publikované, výsledky budú publikované po rozšírení výskumu.

Elektronická verzia
: Prehliadať

Abstrakt v primárnom jazyku

Predkladaná práca sa venuje možnosti využitia Difúzneho koplanárneho povrchového bariérového výboja (DCSBD) na aktiváciu kryštalického kremíka za účelom jeho spájania a jeho oxidácie pomocou tohto typu výboja. Experimentálna práca bola zameraná ne štúdium vlastností povrchu dvoch typov kryštalického kremíka s rôznou kryštalickou orientáciou - N (111) and P (100). Vlastnosti, ktoré v najväčšej miere ovplyvňujú proces spájania hydrofilného povrchu kremíka, sú zmeny povrchovej energie a mikrodrsnosť, ktoré boli sledované s využitím merania priebehov kontaktných uhlov a morfológie pomocou Atómovej silovej mikroskopie (AFM). Bol porovnaný vplyv nízkotlakej plazmy generovanej pomocou RF výboja určeného na leptacie účely a plazmy generovanej pri atmosférickom tlaku pomocou DCSBD výboja z hľadiska vlastností povrchu a výkonových parametrov, ktoré boli určené z elektrických meraní. Ďalej boli optimalizované podmienky pre aktiváciu pomocou DCSBD výboja na povrchu kremíka a podmienky pre spájanie pred, počas a po opracovaní. Pri štúdiu možnosti oxidácie povrchu kremíka pomocou DCSBD boli analyzované chemické väzby na povrchu pomocou Fourierovskej infračervenej spektroskopie (FTIR), hrúbka vrstvy optickou elispometriou, štruktúra vrstvy na zlome Skenovacím elektrónovým mikroskopom (SEM) a chemické zloženie pomocou energo-disperznej röntgenovej spektroskopie (EDX).