Predkladaná práca sa venuje možnosti využitia Difúzneho koplanárneho povrchového bariérového výboja (DCSBD) na aktiváciu kryštalického kremíka za účelom jeho spájania a jeho oxidácie pomocou tohto typu výboja. Experimentálna práca bola zameraná ne štúdium vlastností povrchu dvoch typov kryštalického kremíka s rôznou kryštalickou orientáciou - N (111) and P (100). Vlastnosti, ktoré v najväčšej miere ovplyvňujú proces spájania hydrofilného povrchu kremíka, sú zmeny povrchovej energie a mikrodrsnosť, ktoré boli sledované s využitím merania priebehov kontaktných uhlov a morfológie pomocou Atómovej silovej mikroskopie (AFM). Bol porovnaný vplyv nízkotlakej plazmy generovanej pomocou RF výboja určeného na leptacie účely a plazmy generovanej pri atmosférickom tlaku pomocou DCSBD výboja z hľadiska vlastností povrchu a výkonových parametrov, ktoré boli určené z elektrických meraní. Ďalej boli optimalizované podmienky pre aktiváciu pomocou DCSBD výboja na povrchu kremíka a podmienky pre spájanie pred, počas a po opracovaní. Pri štúdiu možnosti oxidácie povrchu kremíka pomocou DCSBD boli analyzované chemické väzby na povrchu pomocou Fourierovskej infračervenej spektroskopie (FTIR), hrúbka vrstvy optickou elispometriou, štruktúra vrstvy na zlome Skenovacím elektrónovým mikroskopom (SEM) a chemické zloženie pomocou energo-disperznej röntgenovej spektroskopie (EDX).